日本材料技研株式会社

半導体用ウエハー有効キャリア測定装置

日本材料技研(JMTC)の関係会社であるパンソリューションテクノロジーズの半導体用ウエハー有効キャリア測定装置は、東北大学金属材料研究所で開発された新技術「HS-CMR 法」(High Speed – Current Modulating Resistivity method)により、半導体や太陽電池に用いられるシリコンウエハーや化合物半導体ウエハーなどの結晶品質を評価できる装置です。

半導体用ウエハー内の品質に関係する全ての要素(電子、ホール、欠陥、不純物等)を包括して測定し、半導体の性能に寄与する電子の数(有効キャリア数)を正確に反映したパラメーターで評価することができます。

本装置での測定結果は、半導体用ウエハーを製品化した際の製品品質と直接的な関係があります。目視では確認できない半導体用ウエハーの性能を「ポテンシャル性能」として測定することができます。ポテンシャル性能の低いウエハーを受入時点で選別できるので、製造コスト低減に効果があります。